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磁控溅射装置及其溅射阴极

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种磁控溅射装置及其溅射阴极，溅射阴极包括阴极门板、阴极及阳极罩。其中，阴极与阴极门板是绝缘的。在进行磁控溅射时，阴极上会施加电源负极，阴极门板相对而言就是正极，而阳极罩与阴极门板也连接。因此，阳极罩相对靶材来说也是正极。增加阳极罩后，电离出来的电子就会飞向阳极罩，从而减少电子对需要镀膜的玻璃基板的轰击，降低了电子对镀膜过程的影响，从而提高了膜层及其表面电阻的均匀性。...
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